Насосы для нанесения пленочного покрытия

Вакуум часто используют в методе нанесения пленочного покрытия, например, в оптике, электронике, энергетике, строительной технике, упаковке, в области науки о поверхности и научных исследований и т.д. Способами, используемые при нанесении вакуумного покрытия напылением, могут быть способ распыления, ионного и лучевого осаждения, а также молекулярно-лучевая эпитаксия и т. д. Например, химический метод осаждения из паровой фазы требует изменение физических и химических свойств на поверхности материала, поэтому  данная технология является важной частью вакуумной обработки поверхности.

Вакуум в процессе нанесения пленочного покрытия создается, в основном, при помощи бустерного насоса Рутс, пластинчато-роторного насоса, водокольцевой вакуумный насос и масляного диффузионного насоса. 

Сферы применения нанесения пленочного покрытия

Светоотражающие покрытия широко используются для объективов фотоаппаратов и видеокамер. В электронике вакуумное покрытие занимает очень важное место. Схемы наследования всех размеров. В том числе память, арифметические, логические элементы и т.д. должны содержать проводящую пленку, изолирующую пленку и защитную пленку. Подготовка контура в качестве маски используется хромовая пленка. Магнитная лента, магнитный диск, полупроводниковый лазер, устройство Джозефсона, устройство с зарядовой связью (ПЗС) также являются разновидностями пленочных покрытий. 

В устройстве индикации видеоголовка, видеокассета высокой плотности и прозрачная проводящая пленка представляют собой плоское устройство индикации, светодиодную пленочную трубку камеры, экранную оболочку трубки дисплея, также изготовленную из алюминия методом вакуумного напыления. При испарении никеля в вакууме, могут быть изготовлены хромовые или металлокерамические резисторы, а также выпаренный алюминий на пластике, диоксиде кремния, титане и т.д. могут быть изготовлены конденсаторы и выпарены для получения электростатической копировальной машины с селеновым барабаном, титанат бария может быть выпарен магнитострикционные компоненты, изготовленные из звука.

Вакуумное испарение также может быть использовано для изготовления сверхпроводящей пленки и инерционного удержания микрошариков, покрытых реакционными изменениями. Это также могут быть ювелирные изделия, поверхность корпуса часов, узор из текстильного металла, золотая и серебряная нить и другое нанесение декоративной пленки и напыление или ионное покрытие с использованием инструмента, пресс-формы и другого производственного материала.

Насосы для нанесение пленочного покрытия в оптике

Нанесение покрытий в оптике относится к процессу нанесения одной или нескольких металлических тонких пленок на поверхность оптических деталей посредством вакуумного напыления. Целью нанесения покрытия на поверхность оптических деталей является изменение характеристик отражения и пропускания поверхности материала. 

Распространенный метод оптической технологии тонких пленок заключается в нанесении тонкой пленки на стеклянную подложку с помощью вакуумного распыления, которое обычно используется для регулирования коэффициента отражения и пропускания подложки падающим лучом для удовлетворения различных потребностей. Для устранения потерь на отражение на поверхности оптических деталей и улучшения качества изображения для различных прикладных нужд используется высокоотражающая пленка для изготовления поляризованных отражающих пленок, пленок с разделением цвета, пленок холодного света и интерференционных фильтров и т.д.

После нанесения покрытия на поверхность оптических деталей свет многократно отражается и передается на покрытие, образуя многолучевую интерференцию. Регулируя показатель преломления и толщину покрытия, можно получить различные распределения интенсивности. Это основной принцип интерференционного покрытия.

Оптическая пленка должна быть нанесена в высоковакуумной камере. Для процессов нанесения покрытия требуется повышение температуры подложки (обычно около 300 °C); в то время как более современные технологии, такие как IAD, могут быть выполнены при комнатной температуре. Процесс IAD не только позволяет получать пленки с лучшими физическими свойствами, чем при традиционных способах нанесения покрытий, но и может наноситься на подложки из пластика. Например, линзы для очков.

Система для нанесения покрытий в оптике включает вакуумный насос (масляный диффузионный насос, криогенный насос, молекулярный насос), электронно-лучевого испарение, управление светом, управление нагревателем, управление вакуумом и автоматическое управление технологическим процессом, интегрированное во всю машину для нанесения покрытий.

Насосы для химического осаждения

Принцип вакуумного нанесения покрытия относится к нанесению определенного металла или соединения металла с газом на определенную поверхность материала в вакуумной среде, образуя покрытие. Вакуумное покрытие можно разделить на покрытие испарением, покрытие распылением, ионное покрытие и так далее. Используемые материалы также перешли от простых металлов к различным оксидам высокой чистоты, металлам высокой чистоты, смесям и другим соединениям.

Таким образом, сырье для нанесения покрытий разнообразно, наиболее распространенными являются пластмассы, бумага, керамика и дерево, которые широко используются в автомобилях, бытовой технике, предметах первой необходимости и отделке технологических процессов. Внешняя поверхность многих материалов шероховата и неэстетична. После нанесения покрытия износостойкость, эстетичность и область применения поверхности могут быть значительно увеличены. С быстрым развитием технологий технология вакуумного нанесения покрытий будет все чаще и чаще использоваться в современном мире.

Вакуумная система, состоящего из бустерного насоса типа Рутс и диффузионного насоса, является неотъемлемой частью вакуумного нанесения покрытий, поскольку для завершения процесса необходимо нанесение в вакуумной среде. Когда покрытие испаряется до молекул или атомов, это самое элементарное прямолинейное движение в вакуумной среде. Если материал покрытия соответствует данному материалу, он будет осаждаться на определенном материале, образуя покрытие.

Если вакуумная откачка не является чистой, там остаются молекулы воздуха. Эти молекулы сталкиваются с атомами покрытия, вследствие этого, происходит реакция окисления. В результате, в материале покрытия образуются примеси, из-за которых происходит осаждение материала и он не может быть покрыт. Система из форвакуумного насоса Рутс и диффузионного насоса имеет важное значение в процессе нанесения покрытия, но также является гарантией безупречного качества. В настоящее время система из насоса Рутс и диффузионного насоса занимает лидирующие позиции в индустрии нанесения пленочного покрытия.